原理主要是根据臭气的成分利用强酸（硫酸）、强碱（氢氧化钠）、强氧化剂（次氯酸钠）作为洗涤喷淋溶液与气体中的臭气分子发生气-液接触，使气相中之臭味成分转移至液相，并藉化学药剂与臭味成分之中和、氧化或其它化学反应去除臭味物质。
但化学除臭法主要是针对酸碱废气而进行的,成本高且臭味中含有多种气体成分很难用单一的化学反应来消除臭味。总之,用化学吸收法来处理臭味不是很成熟,该方法有待进一步来完善。
可应用化学洗涤方法处理臭味物质包括有机硫化合物、含氮化合物、有机酸、含氧碳氢化合物、含卤化物等废气物质。适合用于污泥处理、食品、石油、化工、制药等行业。
H2SO4＝H+＋HSO4-在阴极：2H+＋2e＝H2
在阳极：2HSO－2e＝H2S2O8(过二硫酸)
H2S2O8＋H2O＝H2SO4＋H2SO5(过一硫酸)
H2SO5＋H2O＝H2O2＋H2SO4
好象是这样的把，数字不好小写了，就劳烦将就点看把～〈-
也称过氧硫酸，又名卡罗酸
化学式：H2SO5（也可写成SO3·H2O2）
分子量：114.07
性质：当H2SO4与H2O2混合,生成过氧单硫酸（H2SO5）可以看成是H2O2中一个氢原子被磺基–SO3H 取代的产物，即HOO–与–SO3H结合。无色吸水性晶体。熔点45*C，加热爆炸分解 。溶于硫酸、磷酸、冰醋酸。因含有过氧根而具有强氧化性，与芳香化合物（如苯、酚、苯胺）相混爆炸。在水中缓慢水解为硫酸与过氧化氢。它是一元强酸，其盐类反而不稳定。
这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应,最终生成CO和CO2 。采用现有的piranha流程,为了使反应充分进行并得到合适的去胶速率,需要将溶液加热到150℃。不幸的是,灰化时离子轰击光刻胶造成了去氢的非晶碳层,该层与OH–和HSO4–反应基之间的反应很弱。
纯过一硫酸也叫高浓度矾氧混化剂VF，由三氧化硫固体与100%的无水过氧化氢反应制得，酸性、氧化性都比硝酸强，与金反应很剧烈。
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